尺寸：由半徑、角度、距離和特征之間的線性關系所定義的表面功能形狀。

形狀：與表面預期形狀（如平面、球形、錐形等）的偏差，通常由機床不夠精準導致。

粗糙度：在組件設計中，由切削工具或加工過程形成的、可刻意控制的元素。

波紋度：因加工過程中的振動、剛度不足或其他不穩定因素而產生的機床不良效應。